高效过滤器是保持实验室洁净环境的重要工具。洁净环境营造的好不好,使用尘埃粒子计数器进行检漏的方法是常用的方法之一,这样更加直观实用。
粒子计数器使用大气尘埃作为粉尘源,并与粒子计数器配合使用以检查高效过滤器的泄漏情况。打开风扇,然后使用粒子计数器扫描和检测距离高效过滤器表面25毫米的粒子。扫描速度为5mm-30mm/s,检测到的0.5μm颗粒数不超过3500个/m3。标准为100级,样品量应符合5.66l国家标准。
洁净室过滤器检漏用尘埃粒子计数器方法的一般规定:
1.经过测试的过滤器必须已经测量过风量,并且在设计风速的80%到120%之间运行。
2.在测试过的HEPA过滤器的迎风侧测得的大气尘埃颗粒数量应大于或等于0.5μm颗粒,其浓度必须大于或等于3.5×`10^4'颗粒/L;如果检测到超高效过滤器,则以大于或等于0.1μm的颗粒为准,并且浓度必须大于或等于3.5×`10^6'-3.5×`10^7'颗粒/L。
3.如果迎风侧的浓度不满足上述要求,则应引入未过滤的空气。如果不符合要求,则不应使用粒子计数器方法进行泄漏检测。
4.使用尘埃粒子计数器进行检漏时,将采样口放置在距要检查的过滤器表面2-3cm的距离处,并以5-20mm/s的速度移动以扫描整个样品测试过的过滤器的截面,头胶和安装框架。