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超净工作台的使用是一个要求很精准很严格的过程，所以在规划时首先要了解所规划的洁净室净化工程的用途、使用情况、生产工艺特点等、比如规划的是集成电路生产用洁净室净化工程等。
1、了解试验过程性质，比如说生产工艺特点；
2、了解试验对净化效果有哪些要求，比如空气洁净度等级、温湿度控制范围、以及其它环境要求数据等；
3、充分了解采用的生产工艺、工艺设备情况和对工艺布局；
4、确认超净工作台各区的工作效能，确认各类生产工序(房间)的空气洁净度等级和各种参数——温度、相对湿度、压差、微振动、高纯物质的纯度及杂质含量；
5、挑选洁净室净化工程的气流流型并进行净化空调体系的初步估算及规划确认；
6、进行洁净厂房的平面安置、空间安置，此时要安排好产品生产区的合理布局，要充分适应试验流程，保证产品生产环境有利于操作、管理，节约能源。
在超净工作台空间规划时应分考虑产品生产过程和洁净室净化工程内各种管线、物流运送的合理安排。在确认平面、空间安置后，对净化工程涉及的各个专业内容、工艺的相关问题都要注意。
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