层流罩主要用途是避免产品污染,是能将操作员与产品屏蔽隔离的设备之一。从洁净室吸取的空气,然后采用顶部增压舱里安装的风扇通过HEPA过滤垂直穿过操作区域,为关键区域提供ISO5(级别100)的单向流空气。废气从下面排出,返回洁净室区域。它主要由箱体、风机、高效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成。
洁净层流罩是将空气以一定地风速通过高效过滤器后,形成均流层,使洁净空气呈垂直单向流,从而保证了工作区内达到工艺要求的高洁净度。与洁净室相比,具有投资省,见效快,对厂房土建要求低,安装方便,省电等优点,目前广泛用于精密机械、电子、制药、食品、精细化工等部门。
在对层流罩进行风速测试时需了解以下几点:
1、被检漏高效过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。
2、在同一送风面上安有多台过滤器时,在结构上允许的情况下,宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。
3、当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时,为了对所有过滤器造成均匀混合,宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶,立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。
4、对于高效过滤器,当检漏仪表为对数刻度时,上风侧气溶胶浓度应超过仪表最小刻度的104倍;当检漏仪表为线性刻度时,上风侧气溶胶浓度需达到80~100μg/L。检漏仪表应具有0.001~100μg/L的测量范围。
5、被检过滤器必须已测过风量,在设计风速的80%~120%之间运行。
6、在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数,以大于或等于0.5μm微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5×104粒/L;若检测超高效过滤器,则以大于或等于0.1μm微粒为准,其浓度必须大于或等于3.5×106~3.5×107粒/L。
7、若上风侧浓度不符合上项规定,则应引入不经过滤的空气,如果还达不到规定,则不宜用粒子计数器法和凝结核计数器法检漏。
8、检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2~3cm处,以5~20mm/s的速度移动,对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。
9、对于风口上风侧有较长的支管段且已经或可以打孔时,可以用风管法确定风量。测定断面距局部阻力部件距离,在局部阻力部件前者不少于3倍管径或3倍大边长度,在局部阻力部件后者不少于5倍管径或5倍大边长度。
10、对于矩形风管,将测定截面分成若干个相等的小截面,每个小截面尽可能接近正方形,边长应不大于200mm,测点设于小截面中心,但整个截面上的测点数不宜少于6个。对于圆形风管,应按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。
应用:
洁净层流罩有风机内装和风机外接两种,安装方式有悬挂式和落地支架式两种。
洁净度:工作区内≥0.5m粒径的尘埃≤3.5颗/升(FS209E100级)
噪声:≤65Db(A)
平均风速:0.36一0.54m/s